RTP печь быстрого отжига CY-O1000-120I-T-RTP

0р.
Производители
Модель: CY-O1000-120I-T-RTP
Склад Есть в наличии
Просмотров 675

Характеристики

  • Вакуум 4.4E-3Pa
  • Источник питания AC: 220 В 50/60 Гц
  • Номер модели CY-O1000-120I-T-RTP
  • Рабочая Температура 0~500℃
  • Точность контроля температуры ±1℃

Описание товара

Размер трубы печи быстрого отжига RTP составляет 120 мм, что позволяет размещать непосредственно 4 дюйма материала. Зона реакции образца находится в закрытой кварцевой камере, что значительно снижает возможность косвенного загрязнения образца при завершении производственного процесса. Устройство оснащено ЖК-дисплеем высокой четкости с сенсорным экраном, а операция эксперимента с данными настройки представляет собой графический интерфейс. Он удобен и быстр в эксплуатации, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента. В оборудовании предусмотрен быстрый интерфейс для вакуума и газов воздуха, и наша вакуумная система может использоваться вместе с системой смешивания газов.

Область применения печи быстрого отжига RTP:

Печное оборудование для быстрого отжига может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига сложных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплава, осаждения тонких пленок, и тому подобное.

Технические параметры печи быстрого отжига RTP:

Модель

CY-O1000-120I-T-RTP

Материал трубы печи

Кварц высокой чистоты

Диаметр трубы печи

120 мм

Длина трубы печи

500 мм

Длина топочной камеры

440 мм

Длина зоны нагрева

400 мм

Зона постоянной температуры

200 мм

Рабочая Температура

0~500℃

Степень нагрева

Рекомендуется 80 ℃ / с, высокая скорость нагрева 200 ℃ / с

Скорость охлаждения

Более 200 ℃ ≤25 мин.

Точность контроля температуры

±1℃

Режим контроля температуры

30- или 50-сегментный программный контроль температуры

Режим отображения

Сенсорный ЖК-экран

Метод герметизации

Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304

Фланцевый интерфейс

Соединитель с наконечником 1/4 дюйма (соединитель в форме пагоды Ø8)

Вакуум

4.4E-3Pa

Источник питания

AC: 220 В 50/60 Гц

Заявление об ограничении ответственности: информация о продукте (включая изображения продуктов, описания продуктов, технические параметры и т. Д.) Этого сайта предназначена только для справки. Поскольку обновление может быть не своевременным, между содержанием и реальной ситуацией будут некоторые различия. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым персоналом для подтверждения. Информация, представленная на этом сайте, не является предложением или обещанием, и компания будет время от времени улучшать и изменять любую информацию на сайте без предварительного уведомления.

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо
Защита от роботов


Наверх
Яндекс.Метрика